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作為先進(jìn)的納米壓印設(shè)備，EVG7300紫外光納米壓印機(jī)憑借其300毫米晶圓處理能力、300納米級(jí)對(duì)準(zhǔn)精度及模塊化設(shè)計(jì)，成為半導(dǎo)體、光學(xué)元件及生物醫(yī)療領(lǐng)域的關(guān)鍵制造工具。本文從設(shè)備結(jié)構(gòu)、操作流程、關(guān)鍵參數(shù)調(diào)控及維護(hù)要點(diǎn)四方面，解析其高效使用的...
位移傳感器又稱為線性傳感器，是一種屬于金屬感應(yīng)的線性器件，傳感器的作用是把各種被測(cè)物理量轉(zhuǎn)換為電量。在生產(chǎn)過(guò)程中，位移的測(cè)量一般分為測(cè)量實(shí)物尺寸和機(jī)械位移兩種。按被測(cè)變量變換的形式不同，位移傳感器可分為模擬式和數(shù)字式兩種。模擬式又可分為物性型和結(jié)構(gòu)型兩種。常用位移傳感器以模擬式結(jié)構(gòu)型居多，包括電位器式、電感式、自整角機(jī)、電容式位移傳感器、電渦流式、霍爾式等。位移傳感器主要用于設(shè)備位移測(cè)量與位置定位，質(zhì)量的優(yōu)劣直接決定了機(jī)械設(shè)備測(cè)量精度與控制效果的好壞。安裝好位移傳感器后，出現(xiàn)...
光學(xué)輪廓儀是一種雙LED光源的非接觸式光學(xué)儀器，對(duì)樣品基本上沒(méi)有損害。視樣品選擇不同測(cè)量模式。相移干涉模式(PSI)主要用于測(cè)量光滑表面粗糙度；垂直掃描干涉模式(VSI)則可以做高度、寬度、曲率半徑，粗糙度的計(jì)測(cè)等。光學(xué)輪廓儀工作原理：光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。3D形貌地圖配合色譜圖，非常直...
微波等離子清洗機(jī)作為一種綠色無(wú)污染的高精密干法清洗方式，可以有效去除表面污染物，避免靜電損傷。簡(jiǎn)述了微波等離子清洗機(jī)的原理及特點(diǎn)，介紹了設(shè)備的構(gòu)成、清洗工藝和模式，對(duì)微波導(dǎo)入和微波源與負(fù)載的匹配兩個(gè)關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究；通過(guò)工藝驗(yàn)證，微波等離子清洗降低了接觸角度，提高了引線鍵合強(qiáng)度。等離子體是物質(zhì)存在的一種基本形態(tài)（被稱為物質(zhì)的第四態(tài)），是由原子，電子，分子，離子或自由基組合而成，等離子清洗就是通過(guò)物理、化學(xué)作用對(duì)被清洗物表面進(jìn)行處理，實(shí)現(xiàn)去除分子水平污染物的一種工藝過(guò)程，同時(shí)...
納米壓痕技術(shù)也稱深度敏感壓痕技術(shù)，是測(cè)試材料力學(xué)性質(zhì)的方法之一，可以在納米尺度上測(cè)量材料的各種力學(xué)性質(zhì)，如載荷-位移曲線、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應(yīng)變硬化效應(yīng)、粘彈性或蠕變行為等。可適用于有機(jī)或無(wú)機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護(hù)性薄膜，裝飾性薄膜等等。影響納米壓痕試驗(yàn)的因素很多，主要影響因素可歸納為以下幾種：1.接觸零點(diǎn)的確定2.力和位移的測(cè)定包括環(huán)境波動(dòng)的影響和磁場(chǎng)強(qiáng)度所引起的變化3.卸載曲線...
直接鍵合設(shè)備可以配置用于研發(fā)，中試線或大批量生產(chǎn)，以及任何基于直接或中間層的鍵合工藝，包括復(fù)雜的低溫共價(jià)鍵合。憑借這些技術(shù)和設(shè)備組合，EVG占領(lǐng)了封裝和3D集成，MEMS以及的化合物半導(dǎo)體和SOI基板的市場(chǎng)，保持了地位和主導(dǎo)*。直接鍵合設(shè)備應(yīng)用系統(tǒng)說(shuō)明：1、粘接系統(tǒng)：直接鍵合設(shè)備可提供的總體擁有成本(TCO)，并具有多種設(shè)計(jì)功能可優(yōu)化鍵合良率。針對(duì)MEMS，3D集成或高級(jí)封裝中的不同市場(chǎng)需求，針對(duì)鍵合對(duì)準(zhǔn)的多個(gè)模塊進(jìn)行了優(yōu)化。2、臨時(shí)粘接系統(tǒng)：臨時(shí)鍵合是為薄晶圓或薄薄晶圓提供...